鐘罩爐所提供的燒結窯爐的主要特性是高效率，其智能控制系統和其他設備構成了一個完整的功能單元，可充分滿足鐵氧體行業近乎藝術級的要求。可以根據需要編寫和儲存任何的溫度/氣氛曲線，來生產高質量的產品。除此以外還可以根據實際需要及時生產任何其他產品，從而縮短交貨期和降低成本。在燒結時僅僅需要少數操作人員，裝載和卸載可以在白天完成，而燒結可以在夜間完成，實現電力調峰，在當今電力緊張情況下，十分實用。

　　目前(qian)設備可用于砷(shen)化(hua)(hua)鎵、硅以(yi)及其他半導體材料，離(li)子(zi)注入后的(de)退(tui)火、硅化(hua)(hua)物(wu)的(de)形成、歐(ou)姆接觸制備以(yi)及快(kuai)速氧化(hua)(hua)、快(kuai)速氮化(hua)(hua)等(deng)方面(mian)。鐘(zhong)罩爐主(zhu)要由真空腔室、加熱室、進氣系統(tong)(tong)、真空系統(tong)(tong)、溫度(du)控制系統(tong)(tong)、氣冷系統(tong)(tong)、水冷系統(tong)(tong)等(deng)幾(ji)部分組成的(de)，下面(mian)咱(zan)們來了解下各(ge)組成部分的(de)作用：

　　1.真(zhen)空(kong)腔室：真(zhen)空(kong)腔室是其工作空(kong)間，晶圓在這(zhe)里進行快速熱處理(li)。

　　2.加(jia)熱(re)室(shi)：加(jia)熱(re)室(shi)以(yi)多個(ge)紅外燈管為(wei)加(jia)熱(re)元件，以(yi)耐高溫合金為(wei)框架、高純石英(ying)為(wei)主體。

　　3.進(jin)氣(qi)系統：真(zhen)空腔室尾部有進(jin)氣(qi)孔(kong)，控制的(de)進(jin)氣(qi)量用來滿足一些特殊工(gong)藝的(de)氣(qi)體(ti)需求。

　　4.真空(kong)系統：在(zai)真空(kong)泵和(he)真空(kong)腔室(shi)之間裝有高(gao)真空(kong)電磁(ci)閥，可以有效確保腔室(shi)真空(kong)度，同時避免氣體倒灌污染腔室(shi)內(nei)的被處(chu)理(li)工件。

　　5.溫(wen)度控制系(xi)(xi)統：溫(wen)度控制系(xi)(xi)統由溫(wen)度傳感器(qi)(qi)、溫(wen)度控制器(qi)(qi)、電力調整器(qi)(qi)、可編程(cheng)控制器(qi)(qi)、PC及(ji)各種傳感器(qi)(qi)等組(zu)成。

　　6.氣冷系統：真空腔室(shi)的冷卻(que)是通(tong)過進(jin)氣系統向腔室(shi)內充(chong)入惰性氣體，來加速冷卻(que)被(bei)熱處理(li)的工件，滿足(zu)工藝使用要(yao)求。

　　7.水冷(leng)系統：主要包括真(zhen)空腔室(shi)、加熱室(shi)、各部位密封圈的(de)冷(leng)卻用(yong)水。